苏州感测通MEMS微镜模组环境适应性测试成绩优异，尽显产品稳定可靠

据麦姆斯咨询报道，近日，由导远科技旗下苏州感测通信息科技有限公司（以下简称“苏州感测通”）自研的MEMS微镜模组在专业测试机构严苛的可靠性测试中获得优异成绩，体现了公司对产品高性能指标和安全可靠的追求。

在跌落冲击测试中，苏州感测通自研的镜面尺寸10 mm的MEMS微镜通过了JESD22-B104-B的六方向冲击测试，打破了行业内大尺寸MEMS微镜无法通过该冲击测试标准的魔咒。

在扫频振动测试中，在20 Hz-2000 Hz、5 g加速度、X、Y、Z三轴方向的往复标准扫频测试条件下，该MEMS微镜模组始终稳定工作于45°（谐振）x 25°（30 Hz）光学角二维扫描的驱动状态。这一结果不仅说明当前MEMS微镜模组封装方案对芯片具有显著的减震效果，同时也验证了MEMS微镜芯片在强外界干扰工况下的可靠性。

在高温高湿老化测试中，苏州感测通自研的MEMS微镜模组在110℃/95RH的极端环境中历经268小时测试后，其性能指标未发生任何变化。充分表明公司掌握了集成封装的核心技术，封装结构未影响MEMS微镜芯片的特征频率和电学性能。

苏州感测通申请的“电磁微镜模组封装结构”专利已获得国家知识产权局的授权。上述测试结果进一步印证了该设计的可靠性和安全性。公司将继续通过优异的封装设计，进一步降低MEMS微镜模组的量产成本。

苏州感测通开发的二维微镜模组采用单通道驱动来满足快慢两轴同时扫描的效果，快轴由谐振信号激发谐振模态正弦扫描，慢轴可以定制频率调制信号匀速扫描，从而形成光栅扫描。该系列产品的具体型号如下：

近期，苏州感测通又开发了超低耦合双轴独立驱动MEMS微镜模组产品，并设计了大尺寸双轴准静态MEMS微镜芯片。

自2022年5 mm x 7 mm二维电磁MEMS微镜首次流片成功以来，苏州感测通至今已量产十余款多种形态、镜面大小各异的MEMS微镜模组产品，已交付车载、机器人、3D扫描建模、激光微创和眼科OCT等行业客户，推动多种终端的智能化转型升级。

苏州感测通具备独立的芯片自主设计能力，能够自主控制MEMS微镜的加工与封装工艺。公司拥有自建的封装和测试工厂，并构建了完善的的生产质量体系，实现了从晶圆到成品的全链条生产，确保各生产环节的品质可控。随着产量的稳步增长，苏州感测通旗下的模组成本将逐步降低，为MEMS微镜的规模化量产与广泛应用提供有力保障。目前，苏州感测通已具备年产十万套MEMS微镜系列产品的量产能力。

关于感测通（GST）

苏州感测通信息科技有限公司成立于2016年，是导远科技旗下负责芯片设计的高科技企业，公司专注于MEMS传感器的研发、生产、销售，是全球化的MEMS传感器解决方案供应商，主要业务包括MEMS传感器芯片设计和ASIC集成电路设计，涉及的产品有MEMS陀螺仪、加速度计和微镜。公司在南通拥有成熟的封测线与通过认证的超净车间，为芯片的量产交付与出货质量保驾护航。

苏州感测通的研发团队来自海内外知名企业与高校，60%以上员工具有博士、硕士学位，具有国际化的视野、雄厚的研发实力、与时俱进的企业管理和市场开拓能力。

导远科技（ASENSING）成立于2014年，专注于智能传感器产品的研发和生产，是国家级专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业。导远科技拥有覆盖核心元器件到多种新型传感器产品的自主研发和生产能力，为全球客户交付集软硬件一体的解决方案，赋能汽车、智慧交通、机器人、精准农业、工程机械等产业的智能化升级。