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3D光场相机PHOTONIS相机TELOPS红外热像仪NAC高速摄像机Phantom超高速相机Hamamatsu CMOS相机NUVU背照式EMCCD相机FirstLight高速近红外EMCCDDouble Helix Optics深度相机AOS高速相机PCO科学相机Axis超快条纹相机量子信息光学Zurich量子测控Intermodulation微波合成分析QBLOX量子比特控制Swabian时间相关单光子计数Maybell稀释制冷机Basel低噪声超稳定电子设备Excelitas光子探测器UQDevices多光子计数FLIM LABS荧光寿命成像Photonscore光子计数Pi Imaging单光子相机Sparrow单光子源FEMTO低噪声放大器Qusine高精度信号合成器光纤光电器件AOS光纤布拉格光栅Gooch Housego光电器件iXblue电光调制器LUNA光纤传感通信GLOphotonics光子晶体光纤Alnair Labs光学滤波器大气天文探测Miratlas一体化大气监测仪ALCOR SYSTEM天文仪器Plair环境监测系统VOYIS海洋水下探测Bertin天文仪器仪表振镜激光调控SCANLAB扫描振镜EOPC光学扫描系统LINOS激光场镜Cambridge MOVIA振镜Cambridge共振型扫描振镜CRSSill Optics激光场镜MRC激光稳定系统Mirrorcle微扫描镜PLS高速多边形扫描仪光束分析测量Duma光束质量分析仪Liquid多功能测量仪Duma自准直仪HighFinesse波长计Bristol激光波长计数据采集处理Licel数据采集系统AlazarTech高速数据采集处理Spectrum高速数字化仪AMPI刺激器Alnair Labs电脉冲发生器Keysight电子测量与分析仪器AnaPico射频微波信号分析与测量D-TACQ高性能同步数据采集红外光谱ARCoptix红外光谱仪PhaseTech二维红外光谱仪NLIR中红外传感器Optogama红外观察仪IR ViewerEMO高性能红外观测仪超快测量整形Swamp Optics超短脉冲测量FemtoEasy超快测量PhaseTech飞秒光谱脉冲整形n2 Photonics飞秒脉冲压缩few cycle超快激光技术Amonics超短脉冲分析仪太赫兹Lytid太赫兹技术磁场分析测量Metrolab磁场测量光学元器件光栅few cycle超快啁啾镜Wasatch OCT光栅光谱OptiGrate布拉格光栅Spectrogon光栅滤光片Layertec滤波片Alluxa超窄带滤光片Chroma滤光片Andover带通滤光片Acton紫外衰减片Ondax光学元件Spectrogon滤光片Asahi滤光片反射镜镀膜Layertec超快激光反射镜VIAVI高功率大尺寸光学元件镀膜Acton紫外光学元件OptoSigma超级反射镜Optoman超快激光反射镜B.Halle光学元件波片支架转台Lexitek电动旋转台Prior纳米定位压电平台Piezoconcept纳米定位器其他常用光学表面清洁剂First Contact大型仪器显微系统LyncéeTec数字全息显微镜反射式数字全息显微镜DHM-R透射式数字全息显微镜DHM-TFemtonics多光子显微镜Prospective多光子显微镜Lumicks光镊荧光Lumicks m-Trap光镊Lumicks C-Trap光镊自动化机械ISP精密自动化机械设备微纳加工WOP飞秒激光微加工系统LasernanoFab微纳加工系统加速质谱仪HVE离子束和电子束设备HVE加速器质谱仪HVE离子加速器系统Ionplus加速器质谱仪低能量碳十四小型加速器质谱系统LEA放射性碳定年小型加速器质谱系统MICADAS多核素低能量小型加速器质谱系统MILEA light多核素低能量小型加速器质谱系统MILEA半导体设备Plassys薄膜沉积和蚀刻设备Picosun原子层沉积TSST脉冲激光沉积Sentech等离子刻蚀原子层沉积MBE分子束外延设备Plasma-Therm半导体刻蚀光伏设备WEP电化学ECV掺杂浓度检测pv-tools接触电阻测试仪Horiba椭圆偏振光谱仪Sinton少子寿命测试仪Horiba氧/氮/氢分析仪合作自营赋同量子超导纳米线单光子探测北京卓镭超快激光TINY系列Nd:YAG 纳秒激光器BLAZER系列中高功率超快皮秒激光器LAMBER系列纳秒激光器国盾量子科学仪器国盾量子高亮度纠缠源国盾量子高速近红外单光子探测器国盾量子高速皮秒脉冲激光器国盾量子可见光波段单光子探测器SURISE热风式大气湍流模拟器SURISE液晶大气湍流模拟器SURISE夏克-哈特曼波前传感器SURISE全息光镊系统SURISE飞秒激光频率梳SURISE高性能激光器SURISE高时间对比度TW/PW激光系统SURISE数字微镜阵列DMDSURISE大气光学参数测量仪SURISE光学仪器专用干燥柜解决方案自适应光学多光子显微成像光学相干层析成像OCT大气湍流大气激光雷达量子光学合作伙伴 首页 行业新闻 清华大学孙洪波教授/李正操教授/林琳涵副教授AFM综述：功能材料激光三维纳米打印技术研究进展及其在微纳光子学和光电器件中的应用 清华大学孙洪波教授/李正操教授/林琳涵副教授AFM综述：功能材料激光三维纳米打印技术研究进展及其在微纳光子学和光电器件中的应用 激光三维纳米打印技术通过对飞秒激光三维扫描路径编程可以实现任意三维纳米结构的高精度制备并赋予打印结构新奇的物理、化学、机械性能等。然而，激光三维纳米打印技术主要依赖于双光子聚合过程，从而限制了可打印材料的种类及结构功能性。为了进一步拓宽打印材料体系，其关键在于以多种功能材料（如离子、前驱体、纳米材料等）为打印原料并使其对入射激光响应。通过合理设计焦点处的光物理或光化学打印机制，激光三维纳米打印技术可实现不同功能材料的三维高精度加工并使其表现出超越传统聚合物三维结构的优异性能。 近日，清华大学孙洪波教授/李正操教授/林琳涵副教授在《Advanced Functional Materials》期刊上发表了题为“3D Laser Nanoprinting of Functional Materials”的综述文章（10.1002/adfm.202211280），该综述系统介绍了多种激光三维纳米打印技术并总结了该技术在微纳光子学、光电器件等领域的应用（图1）。此外，作者对激光三维纳米打印技术的发展前景进行了展望，着重强调了提高该技术的加工通量以及多材料异质加工能力。 图1 激光三维纳米打印技术特点及应用案例 具体地，文章着重介绍了功能材料激光三维纳米打印的三种技术特征及优缺点，具体包括：模板辅助打印、聚合物-功能材料复合打印和不依赖聚合物的直接三维打印（图2）。模板辅助打印以双光子聚合制备的三维聚合物结构为模板，之后通过沉积、溅射、静电吸附等方式使功能材料共形修饰到聚合物模板上，从而实现功能材料三维制备。聚合物-功能材料复合打印则将聚合物和功能材料共混形成复合材料，在激光焦点处形成的聚合物网络起到“粘合”作用从而将功能材料构筑成三维结构。在上述两种聚合物辅助激光加工手段中，聚合物大大降低了结构中功能材料的纯度并阻碍了纳米材料之间的电荷传输，进而影响器件光电性能。后续可通过高温烧结、热解等手段去除有机物，但是有机物的大量流失会导致结构收缩甚至坍塌。相比而言，不依赖聚合物的直接三维打印通过合理设计焦点处的打印机制如激光诱导正向转移、光还原、光激发诱导化学键合等，可实现金属材料、半导体材料等功能材料的直接三维打印，从而消除了聚合物产生的不利影响。 图2 功能材料激光三维纳米打印的三种技术特征 此外，文章系统总结了功能材料激光三维纳米打印技术在微型机器人、微纳光子学、光电器件等领域的应用。例如，利用激光三维纳米打印技术可以制备三维光子晶体、宽波段圆偏振片等，从而实现微纳尺度下对光场的无源调控（图3）。此外，通过将稀土元素掺杂至打印结构中，可以实现对光场的有源调控，如片上三维有源谐振腔。 图3 三维光子纳米结构和片上氧化硅三维谐振腔 该论文的共同第一作者为清华大学精密仪器系博士生刘少峰和清华大学材料学院博士生侯郑为，通讯作者为清华大学孙洪波教授、李正操教授和林琳涵副教授。 精密仪器系孙洪波教授、林琳涵副教授团队主要致力于超快激光超精细特种制造、激光微纳操控及超精密纳米光学表征技术等研究。材料学院李正操教授团队主要致力于材料辐照效应、核能材料与系统安全等研究及光电材料与器件等研究。 来源：高分子科学前沿 免责声明：本文旨在传递更多科研资讯及分享，所有其他媒、网来源均注明出处，如涉及版权问题，请作者第一时间联系我们，我们将协调进行处理，最终解释权归旭为光电所有。 Laser Quantum飞秒激光器venteon 水凝胶，Nature Materials！ 基于DMD的单像素相移干涉波前成像技术之性能比较|Opt. 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