Prior纳米定位压电平台

Prior纳米定位压电平台

我们的纳米定位平台将高性能压电驱动与高精度电容位置反馈相结合，提供完整的高性能闭环系统。当指定使用闭环数字控制器时，可以实现完全的即插即用互换性。 它们有线性、倾斜和旋转三种形式，具有单轴和多轴配置。

从以下选项中选择：

高速、高性能纳米定位线性平台和压电 Z 平台

用于超精密纳米定位应用的压电平台，如硬盘驱动器检查、干涉测量、反射镜定位和高精度显微镜。

压电陶瓷聚焦装置和 Z 轴定位器

我们的 NanoScan 系列压电陶瓷柔性铰链平台和物镜定位器可提供快速的步长和稳定时间，以及高精度和纳米级分辨率。它们与大多数显微镜和物镜兼容，包括 Prior OpenStand 系统。

多轴载物台

我们的多轴压电陶瓷柔性铰链平台包括 XY 定位器、XYZ 压电陶瓷平台和倾斜式平台。它们能够在高精度显微镜、激光通信设备和滤光片或开关等应用中实现亚纳米分辨率和可重复性。

OP400纳米聚焦物镜位移台

Queenstage为用户提供压电聚焦器件NanoScan OP400，通过NPC-D-6110单轴控制器实现纳米精度的Z轴定位以及扫描功能，为用户升级显微镜系统控制提供了基础硬件设施，适配多种物镜尺寸，NanoScan电动纳米Z轴在150g负载下可实现0.7 nm精度定位。

压电聚焦器件NanoScan OP400系统具备更快的的步进及稳定时间。该系统搭载独特的机械设计结构并集成电容式反馈传感器，这使得压电聚焦OP400系统具备精确的定位精度以及分辨率。该系统与大多数显微镜和物镜相兼容，具有用户可配置的设置，可针对不同的物镜尺寸，重量和性能需求进行优化。通过不同的转接环，使压电聚焦器件NanoScan OP400可以安全可靠的搭载显微物镜。

NanoScan OP400可在150g负载下，在10ms内完成小于500nm步进的位移量，快速的稳定时间可以极大的减少在用户的实验过程中所产生的漂移量，即便是更大的负载，该系统仍可以保持较高的稳定时间。且压电聚焦器件NanoScan OP400适用于正置或倒置显微镜，更适配用户的使用需求。

NanoScan电动纳米Z轴规格：

参数	规格
材质	不锈钢
闭环行程	400 μm
分辨率	150g负载下0.7 nm
线性度	0.005 ％
重复性	1.6 nm 低PID，50 μm，1 SD
最大物镜负载	800 g
负载谐振频率	150g负载下180Hz
5％稳定0.5 μm步进 150g/250g/500g 负载	7 ms/10 ms/18 ms
5％（500 nm）稳定100 μm步进 180g/250g/500g 负载	30 ms / 35 ms / 45 ms
电缆长度	2 m
物镜间隙	40 mm
光路长度拓展	13 mm   12mm with M32

NPC-D-6110控制器规格：

参数	规格
机控
NPC-D-6110控制器尺寸	318 mm × 240 mm × 90 mm
控制器重量	3.0 kg
制冷	对流冷却-温度控制风机
电控
能量输入	100-240 VAC 标准 47-63Hz
连接
USB-Type B 连接器	2.0兼容
模拟输入指令	BNC-0-10 V（± 10V max）
模拟位置监视器输出	BNC-0-10 V（± 10V max）
“TRIG” input / “TRIG output “IN-POS” output and Quadrature interface	25 pin D-type socket - 5V TTL
控制器同步信号	9 pin D-type 插座
运行环境
温度	10-40 ℃
相对湿度	5-80 %相对湿度

压电聚焦OP400系统订购信息

订购编码	描述
QGOP-400-UP-D1	System incorporating NanoScan OP400 (0-500g load) for upright microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller
QGOP-400-UP-HL-D1	System incorporating NanoScan OP400 (500-1000g load) for upright microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller
QGOP-400-INV-D1	System incorporating NanoScan OP400 (0-500g load) for inverted microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller
QGOP-400-INV-HL-D1	System incorporating NanoScan OP400 (500-1000g load) for inverted microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller

压电聚焦OP400特点：

• -400μm闭环行程范围（450μm开环范围）
• -电容定位传感器提供亚纳米定位分辨率和重复性
• -不锈钢材料，提供更大的机械刚度（更快的速度）和温度稳定性（更低的漂移）
• -平台是弯曲导向系统。无摩擦挠曲件设计用于提供高刚度并最大程度地减少离轴运动，从而提供高可重复性和更快的循环时间。
• -适用于立式和倒立应用。
• -具有内置平台校准的连接器提供即插即用的电子设备，可以互换使用，从而最大程度地减少了系统停机时间。
• -即使在较大的目标负载下，也可以快速建立时间。
• -经过测试，可以运行超过1000万个完整范围的周期。

NanoScan电动纳米Z轴应用：

• -光学切片可产生3D图像
• -自动对焦系统，用于延时成像
• -高内涵筛选
• -表面分析
• -晶圆检查
• -扫描干涉仪

OP800纳米物镜扫描台

NanoScan OP800纳米物镜扫描台可提供任何纳米纳米物镜定位中较快的步进和稳定时间。OP800压电纳米物镜聚焦台，采用电容反馈传感器，具有市场领先的定位精度和分辨率，其市场领先的定位精度和分辨率源于其独特的机械设计和集成的电容反馈传感器。作为对焦模块，OP800纳米压电物镜定位台与大多数显微镜和物镜兼容。该系统具有用户可选配的设置，针对不同的物镜尺寸、重量和性能需求进行优化。用户只需为其应用程序选择最佳设置即可。

OP800纳米物镜扫描台是英国Prior旗下专注纳米定位的Queenstage生产的NanoScan系列产品中的物镜对焦模块，也叫做电动Z轴。

作为电动Z轴，英国Prior·Queenstage 的NanoScan OP800可提供任何纳米物镜定位中较快的步进和稳定时间。OP800压电纳米物镜聚焦台其独特的机械设计和集成的电容反馈传感器，使得此压电纳米物镜聚焦台具有市场领先的定位精度和分辨率。

OP800压电纳米物镜聚焦台，作为纳米物镜定位的物镜对焦模块或者说电动Z轴，有800um闭环行程范围(950um开环行程范围)。此压电物镜定位台由不锈钢制成，提供更大的机械刚度和更高的温度稳定性。

OP800纳米压电物镜定位台 作为电动Z轴与大多数显微镜和物镜兼容。该物镜对焦模块具有用户可选配的设置，针对不同的物镜尺寸、重量和性能需求进行优化。用户只需为其应用程序选择最佳设置即可。

OP800纳米压电物镜定位台 的规格参数

规格	参数
材质	不锈钢和铝
闭环行程	800 um
分辨率	2.5 nm（250 g载重）
线性度	0.01%
重复性	5 nm 低PID，100 um step，1SD
最大物镜载重	500g（更高载重可以咨询）
负载谐振频率 150 g/250 g/500 g 负载	86/82/42 Hz
5％稳定0.5 μm步进 150 g/250 g/500 g 负载	9 ms/17 ms/21 ms
5％（500 nm）稳定100 μm步进 150 g/250 g/500 g 负载	51 ms/ 59 ms/70 ms
线缆长度	2 m
物镜间距	40 mm
光路扩展	13 mm; 12 mm with M32

OP800纳米物镜扫描台的特点：

• -800um闭环行程范围(950um开环行程范围)
• -在较大重量下也能快速到响应
• -电容式定位传感器为此纳米物镜定位器提供低纳米级定位和最佳分辨率稳定性(低漂移)和可重复性
• -坚固的结构设计使OP800纳米压电物镜定位台 可以在常规配置下承载重物
• -使用不锈钢材料，提供更大的机械刚度（更快的速度）和温度稳定性（更低的漂移）
• -可用于正置显微镜和倒置显微镜
• -平台是弯曲导向系统。无摩擦挠曲件设计用于提供高刚度并最大程度地减少离轴运动，从而提供高可重复性和更快的循环时间
• -经过测试，可以运行超过1000万次完整范围的周期。
• -具有内置级校准的连接器提供可互换的即插即用电子器件，缩短了系统停机时间
• -自动在行程范围内进行中心校准，确保设备在所有适当的环境下进行全范围扫描

OP800压电纳米物镜聚焦台的主要应用：

• -用于光学切片生成3D图像
• -用于延时成像系统的自动对焦模块
• -高内涵筛选
• -表面分析
• -晶圆检测
• -扫描干涉仪
• -多光子显微镜

OP800纳米压电物镜定位台 的订购信息

	描述
QGOP-800-UP-D1	System incorporating NanoScan OP800 (0-500g load) for upright microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller
QGOP-800-INV-D1	System incorporating NanoScan OP800 (0-500g load) for inverted microscopes using objective lenses and NPC-D-6110 controller

Queensgate纳米定位设备（Nanopositioning Devices）

15μm行程，带宽高达1KHz，亚纳米精度，毫秒级响应时间，Queensgate纳米定位设备（Nanopositioning Devices）

英国PRIOR旗下的Queensgate系列纳米定位设备（Nanopositioning Devices）拥有悠久而成功的历史，其专家团队拥有丰富的知识和经验，能够提供一系列OEM纳米定位解决方案。

Queensgate系列产品有纳米定位设备，纳米定位平台，纳米传感器，控制器和电子设备，还包括纳米定位执行器/转换器和软件等各种纳米技术产品。

一、OEM纳米定位平台

型号：NPS-X-28C纳米定位平台，30μm行程范围, Nanopositioning

NPS-X-28C是为高速，超精密MR磁头和磁盘驱动器测试应用而开发的OEM纳米定位平台。它体积小，毫秒响应时间非常适合高可靠性和高吞吐量的应用。NPS-X-28C纳米定位平台具有低移动质量和高刚度相结合，并且提供极高的带宽。

NPS-X-28C纳米定位设备采用电容式传感器设计，提供亚纳米位移测量和超过30微米范围的闭环反馈。设备具有高精度的运动，很大程度上避免寄生运动。结合Queensgate的数字闭环控制器，NPS-X-28C可以实现毫秒响应和稳定时间（settle times）。

NPS-X-28C 30  OEM纳米定位平台的特点：

• >30μm行程，亚纳米分辨率
• 第一谐振频率> 4.5KHz
• 带宽高达1KHz
• 原位扫描和步进响应优化
• 稳定可靠，即插即用设施，可实现低停机时间。

控制器型号：

NPC-D-5200或NPC-D-6330系列控制器

专为控制Queensgate的纳米精密设备而设计。PRIOR的控制器使用现代DSP技术，并结合压电驱动放大器，电容位置传感电路和伺服控制功能，同事还使用PID（比例积分微分）反馈，极大地改善了稳定时间并弱化了机械共振的影响。虚拟前面板软件便于用户控制所有操作参数，包括设置PID循环。

二、Nanopositioning Stages纳米定位平台

PRIOR的Nanopositioning Stages纳米定位平台采用闭环压电驱动技术。产品规格书中列出了纳米平台对应的标准材料，我们还提供众多替代材料，包括Super Invar，不锈钢，钛和铝，应用于真空，辐射，高温兼容等不同的场合。

Queensgate纳米定位平台采用线性或倾斜/旋转形式，具有单轴和多轴配置，采用高性能压电驱动，结合Queensgates独特的电容位置反馈，提供完整的高性能闭环系统。合理设定闭环数字控制器，即可以实现完全即插即用的互换性，使用非常方便。

QGNPS-TG-7A高性能尖端倾斜纳米平台

纳米定位尖端倾斜纳米平台QGNPS-TG-7A专为需要高速，超高精度，光学检测中的反射镜定位、成像系统和激光定位设备而开发。一个的镜子固定在倾斜基座平台上，提供> 7毫弧度的行程，具有亚微弧度分辨率。

QGNPS-TG-7A专为高速带宽而设计，适用于高速应用。 它采用Invar 36结构制造，其低热膨胀系数与大多数光学元件相匹配，可最大限度地减少热变形，并最大限度地减少热位置移动。标准系统提供± 3.5 mrad行程，但可根据要求提供更短距离选项。

QGNPS-TG-7A纳米转动平台的特点：

• 每个轴向有超过7mrad的移动范围，分辨率高达亚微弧度
• Invar 36设计匹配大多数光学元件的热膨胀并最小化任何热位置移动
• 电容式定位传感器提供无与伦比的位置精度和准确度，高位置更新率
• 动态性能，高负载谐振频率以及超过1KHz的超高伺服环路带宽
• 封闭机制，高稳定性和可靠性
• 步进时间<2ms
• 即插即用

QGNPS-TG-7A纳米旋转平台的控制器型号为QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，这款纳米旋转平台可用于激光扫描、激光束稳定、图像处理和稳定、光学滤波器/开关、扫描显微镜（SPM）和激光通信指向设备等领域。

QGNPS-X-15A快速定位微米平台，15μm行程

QGNPS-X-15A 微米级平台是专为高速，超精密MR磁头和磁盘驱动器测试等应用而设计，其具有小巧的尺寸和毫秒的响应时间，非常适合用于高可靠性和高吞吐量的各种应用场合。QGNPS-X-15A 快速定位微米平台具有低移动质量（low moving mass）和高刚度，提供极高的带宽。

微米平台内部集成了紧凑的内部电容式传感器，可在超过16微米的范围内提供亚纳米位移测量和闭环反馈。提供高纯度的运动，将寄生运动减少到通常1微弧度。结合Queensgate的数字闭环控制器，QGNPS-X-15A可以实现毫秒响应和启动时间。

QGNPS-X-15A快速定位微米平台的特点：

• 15微米行程，亚纳米分辨率
• 第一谐振频率3 KHz (4 KHz NPS-X-15D)
• 负载为50克时响应时间为毫秒级
• 原位扫描和步进响应优化
• 稳定可靠的工业级产品
• 低停机时间，即插即用

QGNPS-X-15A快速定位微米平台的控制器型号可选NPC-D-5200 Digital Controller或NPC-D-6000 Series。其应用领域涵盖磁头和磁盘驱动器测试、干涉测量法、计量学和原子力显微镜探针等领域。

QGNPS-XY-100两轴微米平台（两轴100x100µm平台）

QGNPS-XY-100属于压电扫描弯曲导向平台，带有集成电容位置传感器，能够达到亚纳米级的分辨率和重复性。QGNPS-XY-100的弯曲引导结构能够使两轴微米平台在整个100微米范围内将寄生角运动减少到小于25微弧度。这款两轴微米平台还采用了独特的等静压安装系统，可确保安装系统的应力得到适当的释放，并确定平台的中心作为坐标参考点。

QGNPS-XY-100A双轴100μmx100μm超级不胀钢微米平台——由超级殷钢（CTE 0.3ppm K-1）制成，可最大限度地减少热漂移，这一点对于纳米平台非常重要。配备3点可调安装座。

QGNPS-XY-100D双轴100μmx100μm超级铝微米平台——具有极佳分辨率，快速的XY-100系列动态，非常具有性价比。 配备4个角落安装。

QGNPS-XY-100特点：

• 每个轴行程大于100微米，亚纳米分辨率
• 滞后和线性误差<0.005％
• 第一谐振频率> 350 Hz（NPS-XY-100A），> 500 Hz（NPS-XY-100B），> 650 Hz（NPS-XY-100D）
• 高带宽（> 50 Hz）和快速响应时间
• 原位扫描和步进响应优化
• 与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H配合使用可实现XYZ三轴平移
• 使用超级不胀钢材料（NPS-XY-100A），铝合金（NPS-XY-100B）或铝（NPS-XY-100BD）

QGNPS-XY-100两周微米平台的控制器型号为QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，其可应用于高精度显微镜和原子力显微镜，SPM，NSOM等领域。