Phasics成功交付多波长深紫外Kaleo Kit套件波前测量平台
成功交付,深度定制:
以技术响应全球客户差异化需求
随着半导体、光学镀膜及超精密加工领域对检测精度的需求日益严苛,客户对多波段、高稳定性的深紫外波前检测设备依赖度显著提升。近日,Phasics成功交付欧洲某关键客户多套定制化Kaleo Kit模块式检测平台,助力客户在尖端工艺研发中实现突破性进展。

此次交付的Kaleo Kit套件检测平台专为满足该客户在深紫外波段的检测场景中特殊需求而设计:
多紫外波长光源适配:支持266nm窄线宽定制紫外光源、以及265nm、365nm、455nm等多波段标准光源模块切换,攻克紫外波段超高精度检测中的单一性,提供更多灵活性选择。


为保障设备在客户实际场景中的高效运行,Phasics工程师团队同步提供驻场支持,完成设备安装、多波长标定及操作培训。客户反馈高度满意本次验收。
PHASICS
Kaleo Kit套件模块化检测平台
Phasics的Kaleo Kit套件检测平台是用于光学计量的模块化系统。它由多种相互兼容的模块组合而成,可让用户搭建一个经济有效,体积紧凑且易于使用的完整光学测试系统。该系统可适应各种测量场景,确保从研发至生产等不同阶段样品的光学品质鉴定。
该统配套软件Phasestudio系统可通过单次测量实现波前误差(WFE),光学像差(Zernike系数),点扩散函数(PSF)和调制传递函数(MTF)等。
Kaleo Kit套件覆盖从深紫外到远红外多个波段的独立解决方案及兼容模块, 兼顾高分辨率、高动态范围及纳米级相位灵敏度,且操作简易,系统紧凑且便于快速对准。
通过三步轻松选配,找到您的理想系统:

此次成功交付的Kaleo Kit套件测试平台以三大核心优势,进一步巩固了Phasics在深紫外波段高精度波前检测领域的领导地位:
-深紫外波段仍保持高精度重复性RMS测量。
-多波长适配,性价比最优选。
-工业级高可靠性硬核认证,适配7x24小时产线复杂环境。
Phasics将持续扩展Kaleo Kit套件检测平台的波长覆盖范围与技术边界,为半导体、航空航天、生物医疗等领域客户提供更灵活的检测解决方案。诚邀全球合作伙伴垂询,共同探索精密制造的无限可能!