MBE-Komponenten标准MBE系统-OCTOPLUS 500
OCTOPLUS 500 MBE系统是为了在6英寸衬底上生长高质量的III/V族或者II-VI族异质结构材料而研发专业分子束外延系统。样品台选用热解石墨加热或者钨、钽加热丝。标准的OCTOPLUS 500有11个呈放射状分布的源孔，可以根据需要增选3个源孔。
基于于团队成员的多年研发经验，我们发展和制造了OCTOPLUS 500 MBE系统及各种功能的源炉。每个产品都是由MBE专业人才进行组装和测试的。
OCTOPLUS 500 MBE系统是为了在6英寸衬底上生长高质量的III/V族或者II-VI族异质结构材料而研发的。样品台选用热解石墨加热或者钨、钽加热丝。OCTOPLUS 500 MBE系统是公认的非常适合于III/V族， II/VI族或其他异质结构材料生长应用研发与生产。
OCTOPLUS 500 MBE系统的主要特点是极高的可靠性和普适性。标准的Octoplus 500有11个呈放射状分布的源孔，可以根据需要增选3个源孔。快速抽真空进样室配有水平磁力杆传输系统，可以在不破坏MBE腔室真空的前提下，简便地进行样品传输。
MBE-Komponenten标准MBE系统-OCTOPLUS 500主要特点
- 用于研究和生产过程的最先进的MBE系统
- 应用：III/V、II/VI 和其他异质结构
- 12 个源端口
- 广泛的源选项，例如积液池、气源、机械手
- 基板尺寸 2“、3” 或 4“;面朝下的晶圆几何形状
- 强大的特高压泵送系统
- LN2 冷却罩
- 原位表征能力
- MBE博士专家的大力支持
OCTOPLUS 500系统是为在4英寸硅衬底上生长高质量的III-V族异质结构而开发的。可选地，系统可以升级到 6 英寸的基板尺寸。MBE腔室配有多达12个积液池或气体喷射器，用于沉积或表面处理。
基板机械手适用于热解石墨或钨或钽加热器。OCTOPLUS 500 MBE系统经过现场验证，非常适合III/V、II/VI和其他异质结构生长，用于研究和生产过程中的应用。
OCTOPLUS 500 的突出特点是系统的高可靠性和多功能性。
OCTOPLUS 500 的标准版本包括 12 个径向排列的源端口，可根据要求再添加 3 个源端口。带有水平工作传输杆系统或中央传输模块的快速抽空负载锁定室允许在不破坏 MBE 室真空的情况下轻松引入基板。
OCTOPLUS 500 的选项：
- 额外的负载锁定或缓冲室
- 晶圆传输系统
- 积液池、电子束蒸发器、升华源、阀裂解器源、气源、机械手
- 软硬件控制系统
- 泵送系统（涡轮分子泵、低温泵、离子吸气泵等）
- 原位表征工具，例如 RHEED、BFM、石英、高温计
- 其他要求
MBE-Komponenten标准MBE系统-OCTOPLUS 500技术数据
| 沉积室 尺寸 |
550毫米内径 |
| 基础压力 |
< 5×10-11 毫巴 |
| 泵 | TSP、离子吸气泵、低温泵和/或涡轮泵 |
| 冷却罩 | LN2 或其他冷却液（可根据要求提供） |
| 基板加热器温度 | 高达 800°C、1000°C 或 1400°C |
| 子状态大小 | 最大 4” |
| 烘烤温度 | 最高 200°C |
| 源端口 | 12 个端口 DN63CF 和DN100CF |
| 源类型 |
积液池、电子束蒸发器、升华源、阀裂解器源、气源 |
| 百叶窗 |
软作用线性或旋转快门 |
| 原位监测 | 离子计，QCM，高温计，RHEED，QMA |
| 样品转移 | 线性传输杆，手动或半自动，面朝下的几何形状 |
| 负载锁定 | 带有 6 个或更多基板涡轮泵送的弹匣 |
| MBE控制软件 | 塔斯克 |
| 服务 | 系统安装和验收测试 |
| MBE培训 | 由MBE专家提供 |
Examples for applications and corresponding sources
| Effusion Cells WEZ, NTEZ OME, HTEZ |
Sublimation Sources SUKO, SUSI HTS, DECO |
Valved Sources VACS, VGCS VCS, VSCS |
Plasma Sources | E-Beam Evaporators EBVV |
|
| III/V | Ga, In, Al | C, Si doping | As, P, Sb | ||
| II/VI | Zn, Cd, Be | S, Se, Te | N-doping | ||
| IV | Ge, Sn, Pb | B, P, Sb doping | Si, Ge | ||
| GaN | Ga, In, Al | N | |||
| Metals | Cu, Al, Ni, Co, … | Pt, Ta, Pd, Mo, W | |||
| Topological Insulators | Ge, Sn, Te, Bi, GeSb | Se, Te | B | ||
| Graphene / Silicene | C, Si | ||||
| Oxides | Fe, Ni, Mn, Bi, Eu, Ga, … |
O | |||
| Thin Film Solar Cells | Cu, Ga, In, Zn, NaF, Fe, Sn |
S, Se |
基于在生长和兴奋剂应用领域多年的积极研究经验，我们的团队开发和制造OCTOPLUS 500系统和所有基本组件。每个产品都在内部组装和仔细测试。
我们很乐意讨论您的MBE系统规格，并为您的应用提供专业建议。
