Lumetrics光学非接触厚度测量OptiGauge
厚度测量计、波前测量系统、+软件
从医疗管道到多层食品包装再到精密眼科，您的产品完整性决定了您的成功。Lumetrics计量仪器、软件和服务结合起来，为您提供所需的测量数据，帮助您实现更优质的产品，同时减少浪费并提升良率。
我们的非接触式厚度测量仪和波前测量系统集成到您的质量保证实验室、研发流程或生产线中，同时测量多层和多层涂层的薄膜厚度。结果快速、准确且无损。
光学非接触厚度测量OptiGauge II®
OptiGauge® II 是一款非接触式厚度测量系统，适用于制造商和工程团队，他们需要精确且可重复的测量，无需依赖手动测量或破坏性方法。
OptiGauge II基于低相干干涉技术，能够以亚微米级精度测量多层薄膜堆叠、涂层、管材、玻璃、硅及其他透明或半透明材料的厚度测量。
OptiGauge II在全球质量、研发实验室和生产现场被成功应用，因为它能够提高良率、降低成本、提升质量并满足合规要求。
规格
- 光学厚度测量范围：12微米至16毫米
- 测量速率：50 Hz 至 100 Hz
- 精度：± 0.1微米
特色
- 测量多达20层
- 为客户提供笔记本电脑或电脑以太网连接，以运行OCC软件
- 自动计算各层厚度及总总厚度
- 气球或管子的顶壁、内径、下壁和外径测量
- 通过光学开关最多连接8个测量探头
- 非常适合集成到客户的在线生产流程或OEM应用中
OptiGauge II 测量的内容：
- 多层材料的非接触厚度测量
- 医疗管材与气球壁测量
- 玻璃与涂层测量
- 硅晶圆应用
- 透镜堆叠、气隙和光学组件
- 隐形眼镜及其他透明组件
常见应用：
- 多层厚度测量
- 医疗管和气球测量
- 硅晶圆测量
- 玻璃检查
- 光学元件测量
- 自定义计量积分
Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度测量系统采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪原理。测量原理：低相干迈克尔逊干涉仪
如图所示：
Light Source(短相干光源)发出短相干光束，经Beamsplitter分束成两束光，这两束光通过准直仪聚焦到Measurement arm(测量臂)和Reference arm(参考臂)上；
在测量臂段，光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光；在参考臂段，光束被delay line(延迟线路)中的扫描参考镜反射。
各反射光束经光纤返回到Beamsplitter 中，此时扫描反射镜反射的光束分别与R1和R2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以准确移动，当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时，才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动，就可以 测量被测镜的位置。
OptiGauge测厚仪特点
1. 非接触式、非破坏性；
2. 实时在线测量或离线测量；
3. 可单次测量多层膜，最高可测 20 层；
4. 探针灵活配置，实现多个不同目标测量 （最多可配8个探头）；
5. 测试速度快（1s）
6. 适用范围广
测厚仪性能参数：
|
型号 |
OptiGauge® LT |
OptiGauge II |
OptiGauge EMS |
|
测量范围（n=1.5） |
12μm to 3.3 mm |
12µm to 12 mm |
12µm to 35 mm |
|
测量层数 |
1 |
20 |
20 |
|
绝对精度 |
±1μm |
±0.1µm |
±0.1µm |
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重复精度 |
1μm 1σ |
0.1µm 1σ |
0.1µm 1σ |
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扫描速率 |
50Hz |
50Hz,100Hz 和200Hz可选 |
20Hz |
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光源 |
1310nm SLED 45nm wide |
1310nm SLED 45nm wide |
1310nm SLED 45nm wide |
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测量头工作距离 |
25mm and 50mm |
25mm and 50mm |
25mm and 50mm |
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光纤长度 |
3m，max 1000m |
3m，max 1000m |
3m，max 1000m |
测厚仪应用领域：
Lumetrics 产品既可以提供独立的测量头，也可以集成在各种设备中，广泛应用在以下领域，
1、光电子行业：
2 、薄膜行业：测量塑料薄膜的厚度
3 、医疗行业：测量滴液管、塑料管壁厚、糖尿试纸、血袋等
4、单件元件厚度控制（特别适用于红外材料，测量厚度控制平行度）
5 、平板玻璃厚度测试：浮法玻璃、液晶平板 透镜中心厚及胶合间隙测量
