快反镜（FSM）的工作原理与典型应用
作为光电精密跟踪系统的核心组件，快反镜的核心功能是实现光束方向的精准控制。其显著技术优势体现在超快响应速度与超高控制精度的有机结合，主要应用场景包括：
•光路误差校正：有效补偿光路中的倾斜误差，确保光束传输路径的稳定性；
•光束指向稳定：通过动态调节反射镜面姿态，抑制外界干扰引起的光束抖动；
•快速跟踪系统：在光电跟踪场景中实现对目标的实时捕捉与持续锁定。
一、快反镜的工作原理
快反镜采用压电陶瓷驱动+柔性铰链传动的复合结构，主要组件包括：
•驱动单元：压电陶瓷（利用逆压电效应实现纳米级位移）
•传动机构：柔性铰链（无机械摩擦，通过弹性变形传递运动）；
以四点驱动快反镜为例，二维工作台示意图如下，其中A、B、C、D都是压电陶瓷驱动器，此快速偏摆镜四个驱动元件在XY 平面内成90°均布。
二、快反镜的应用领域
3. 天文观测领域
三、典型厂商：技术路线与产品对比
1.国际领先企业
•Physik Instrumente（德国）：压电式快反镜代表厂商，产品以纳米级分辨率和千赫兹级带宽著称，如S-340系列。
•雷神公司（美国）：音圈电机驱动型快反镜技术领先，Responder系列偏转角度达±10 mrad，适用于空间激光通信。
2.国内核心厂商
•三英精控：专注于压电驱动技术，NS-RB系列快反镜闭环分辨率达0.1 μrad，适配激光雷达和卫星通信场景。
•巅慧科技：开发音圈电机驱动产品（如FSM-720系列），支持±1.5°机械偏转，应用于光学稳像和激光加工。若您在快反镜选型过程中遇到困惑，不妨跳转阅读巅慧科技系列文章，助您轻松掌握选型要点 。
•哈尔滨芯明天：深耕压电陶瓷材料，产品覆盖微弧度至毫弧度级需求，市场份额居国内前列。
•中国科学院上海微系统所：成功研制出一款 10 毫米大口径压电 MEMS（微机电系统）快反镜，相关成果于4月29日以《A high-performance 10 mm diameter MEMS fast steering mirror with integrated piezoresistive angle sensors for laser inter-satellite links》为题，发表于国际顶级期刊《Microsystems & Nanoengineering》(link:https://www.nature.com/articles/s41378-025-00935-1)，彰显了我国在微纳光机电系统领域的前沿创新实力。
