荷兰ISTEQ 等离子体光源|白光光源|宽带光源|激光泵浦光源
荷兰ISTEQ的XWS系列激光泵浦等离子体宽带光源是一款高亮度、高稳定、长寿命的宽谱 光源，采用激光器输入连续的泵浦激光来激发等离子体放电发光，从而产生高度稳定的白光。输出白光的光谱范围很宽，谱线包括深紫外，可见光到红外波段。波长范围能够覆盖190-2500nm。发光的等离子体体积很小、仅数百μm，光谱辐照亮度非常高，适合取代传统的气体放电灯（氘，钨，氙灯等）和LED灯。等离子体灯泡采用无电极设计，使用寿命更长，可达到10000小时以上。除此之外，XWS系列等离子体宽带光源还可根据客户特殊的应用需求做相对应的定制开发。
产品特点：
- 连续激光驱动氙等离子放电发光
- 宽光谱范围：190 – 2500 nm
- 高光谱亮度
- 高时间和空间稳定性：STD < 0.15%
- 无电极操作，使用寿命长：10,000 小时
- 发光体的体积小，显著扩展应用范围
- 通过软件和 Windows GUI 进行外部光源控制和实时参数监测
产品应用：
- 涂层镀膜分析
- 半导体制造设备中的深紫外光源
- 紫外线光源的无损检测
- 薄膜测量中厚膜仪的光源
- 太阳能模拟器的光源
- 光动力疗法（PDT）中的光源
- 微流控和芯片实验室领域的光源
- 荧光显微镜光源
- 分光镜光源
XWS系列离子体宽带光源 性能参数
| XWS-30 | XWS-65 | XWS-R | XWS-X | |
| 光谱范围 | 190-2500nm (UV)/250-2500nm (OFR) | |||
| 光谱辐射亮度 | 40mW/(mm2·sr·nm) | 50mW/(mm2·sr·nm) | 90mW/(mm2·sr·nm) | 120mW/(mm2·sr·nm) |
| 输出功率 | 空间光~1.5W光纤耦合~0.4W | 空间光~3W光纤耦合~0.5W | 空间光~5W光纤耦合~1W | 空间光~3W光纤耦合~0.6W |
| 发光体尺寸 | 100×200μm | 250×500μm | 250×700μm | 250×500μm |
| 使用寿命 | 10,000小时 | |||
| 稳定性 | STD<0.15% | |||
| 光学配置 | ||||
| NA(default) | 0.5 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 最大可选NA | 0.55 | |||
| 空间光输出 | C-mount, Thorlabs SM1, 30mm cage等接口 | |||
| 光纤输出 | SMA或FC光纤（仅支持FCU版本） | |||
| 规格尺寸 | ||||
| 灯室规格 | 110×110×120mm | 130×75×106mm | 130×110×106mm | 130×75×106mm |
| 控制器规格 | 无控制器 | 351×175×232mm | 351×175×232mm | 351×175×232mm |
XWS系列离子体宽带光源 可选项
| 输出方式 | 冷却系统 | ||||
| 双通道 | FCU光纤输出 | 灯室水冷 | 控制器风冷 | 控制器水冷 | |
| XWS-30 | × | √ | × | N/A | N/A |
| XWS-65 | √ | √ | √ | √ | √ |
| XWS-R | × | √ | √ | √ | √ |
| XWS-X | √ | √ | √ | √ | √ |
注：此外ISTEQ还可根据客户的需求提供OEM定制服务。
供应商简介及技术特色
ISTEQ B.V. 位于荷兰埃因霍温的High Tech Campus 9 5656AE，是一家激光驱动等离子体光源、极紫外光刻和检测设备的制造商。ISTEQ隶属于莫斯科EUV labs/RnD-ISAN集团，自2013年成立起一直专注于极紫外光刻和相关技术的研发。多年来，ISTEQ一直与半导体行业光刻设备最大的供应商ASML合作，团队的大多数成员也都有在ASML的工作经历。
此外，ISTEQ团队的科学家和工程师还致力于为全球客户提供终端服务和解决方案。从最新的科学成果发布，到最终设备的研发、定型和制造，ISTEQ致力于以客户为中心，从而实现乃至超越客户的要求。
