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ASML分享High-NA EUV光刻机最新进展

ASML分享High-NA EUV光刻机最新进展

中科战略 光电科技情报网 2022-05-30 11:09 Posted on 湖北 5月29日消息,半导体行业花了十多年的时间来准备极紫外线(EUV)光刻技术,而新的高数值孔径EUV光刻(High-NA EUV)技术将会比这更快。 目前,最先进的芯片是 4/5 纳米级工艺,下半年三星和台积电还能量产 3nm 技术,而对于使用 ASML EUV 光刻技术的 Twinscan NXE:3400C 及类似系统来说,它们大都具有 0.33 NA(数值孔径)的光学器件,可提供 13 nm 分辨率。 目前来看,这种分辨率尺寸对于 7 nm / 6 nm 节点 (36 nm ~ 38 nm) 和 5nm (30 nm ~ 32...

付玉喜 研究员 | 太瓦级中红外飞秒激光器

付玉喜 研究员 | 太瓦级中红外飞秒激光器

Original 超快科学 超快科学 2022-05-31 20:20 Posted on 陕西   在西安光机所建所六十周年之际,第一届UltrafastX2021国际会议于4月14-15日在线上成功举办。为了进一步促进超快科学与技术领域的学习和交流,经报告专家允许,对部分精彩报告进行回放。此次发布的报告来自中国科学院西安光学精密机械研究所阿秒科学技术中心付玉喜研究员,报告题目为:“太瓦级中红外飞秒激光器”。关注超快科学微信公众号,及时获取回放报告。   Plenary Talk   太瓦级中红外飞秒激光器     摘要:...

光学相干层析技术:线光斑飞秒激光开槽的在线监测

光学相干层析技术:线光斑飞秒激光开槽的在线监测

LightScienceApplications 2022-05-31 19:30 Posted on 吉林 撰稿 | 王然(中科院微电子所,副研究员) 在激光开槽精密加工过程中,对加工深度的控制至关重要。为了获得所要求的深度,需要根据目标材料的特性探索和优化激光加工参数。然而,由于缺乏系统的理论框架作为指导,对激光加工参数的摸索通常对多组参数进行反复迭代,过程繁琐且复杂。 目前通常采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)来表征激光开槽的实验结果。然而,这两种方法只能等到激光加工过程完全结束才能进行表征,时间和经济成本极高;并且上述两种方法只能获得静态的图像,无法提供加工过程中的动态数据。...

超表面的“光旋钮”

超表面的“光旋钮”

Light新媒体 中国光学 2022-05-30 19:45 Posted on 吉林 撰稿人 | Z(清华大学 博士生) 我们接受信息的绝大部分来源于视觉信息,而光,则是承担了信息传递的重要角色,小到原子微粒,大到天体宇宙,无一不和光有着紧密联系。而光学组件,便是我们与光发生联系的媒介。因此,发明和制备更加先进的光学组件,意味着我们既能自由的操控光发出信息,也能利用这些组件接受更多的信息。 光有一些基本的属性,比如频率,影响我们观察的颜色;振幅,影响我们观察的强度;相位分布,影响光的相互作用形式,等等。...

等离子体尾波场加速器驱动自由电子激光

等离子体尾波场加速器驱动自由电子激光

学研汇 技术中心 纳米人 2022-05-30 20:41 Posted on 福建 特别说明:本文由学研汇技术中心原创撰写,旨在分享相关科研知识。因学识有限,难免有所疏漏和错误,请读者批判性阅读,也恳请大方之家批评指正。 原创丨伊伊(学研汇 技术中心) 编辑丨风云  ...

量子技术正在带来一场天文学革命

量子技术正在带来一场天文学革命

Original 光子盒研究院 光子盒 2022-05-30 19:00 Posted on 北京 天文学正在进行一场革命。   在过去十年中,系外行星的研究有了很大的进展;引力波天文学作为一个新的领域出现,并首次捕捉到了超大质量黑洞(SMBH)的图像。另一个相关的领域——干涉测量学,也取得了令人难以置信的进展。这要归功于高灵敏度的仪器以及分享和汇集世界各地天文台数据的能力。特别是,甚长基线干涉测量(VLBI)技术正在打开全新的可能性领域[1]。   据澳大利亚和新加坡研究人员的最近研究[2],一种新的量子技术可以加强光学甚长基线干涉测量。它被称为“受激拉曼绝热通道”(Stimulated Raman Adiabatic...

中山大学在光学能脊态方面取得重要进展

中山大学在光学能脊态方面取得重要进展

光行天下 2022-05-30 11:15 Posted on 四川 中山大学物理学院、光电材料与技术国家重点实验室董建文教授研究团队用简单的全介质一维光子晶体实现了复杂的节线环简并和能脊态,并实验证实了能脊光子晶体带隙中的表面态。该工作以“Ideal Nodal Rings of One-Dimensional Photonic Crystals in the Visible Region”为题,于近日发表在光学领域高水平期刊《Light: Science & Applications》上。...

单周期全光纤频率梳

单周期全光纤频率梳

Original 尘秋美 郭波 光学前沿评论 2022-05-30 09:00 Posted on 黑龙江   具有确定载波包络相位的单周期脉冲能够在亚周期时间尺度上研究和控制光-物质相互作用以及高效生成低噪声多倍频程频率梳。然而,目前的单周期光源难以实施和操作,阻碍了其在更广泛研究领域的应用和可及性。在此,Xing等人提出了一种紧凑、一站式和可靠的全光纤集成解决方案,可实现单周期脉冲和100 MHz重复率。这通过在重掺铥光纤中放大2 µm种子脉冲,然后进行级联自压缩以产生峰值功率为215 kW、平均功率为374 mW的6.8 fs脉冲来实现。相应光谱覆盖700-3500 nm范围内两个以上的倍频程。在这种单周期泵浦的驱动下,在石英光纤中直接产生了集成功率为180...

微流控技术结合光学系统的广泛应用

微流控技术结合光学系统的广泛应用

李小龙等 光行天下 2022-05-29 23:10 Posted on 四川 摘要:微流控技术作为建立微型分析平台的关键技术,从20世纪90年代发展至今不仅逐渐具备了功能化、集成化以及微型化的特点,而且与光学、微生物学、流体物理等研究领域实现了交叉融合。近年来更是涌现了诸多新型微型化芯片应用领域,其中结合光学系统的微流体分析平台得到了极其广泛的关注。结合微流控技术的概念简要阐明了微流控技术结合光学检测分析的多种前沿科研领域,如微流控光学器件、微流控生物免疫荧光检测以及微流控在光学检测方法中的应用,并对未来的发展方向进行展望。 关键词:微流控;光学器件;免疫荧光分析;光学检测 引言...

一维光子晶体中的三维拓扑态

一维光子晶体中的三维拓扑态

The following article is from LightScienceApplications Author Light新媒体 注:本文由论文作者供稿 光学狄拉克锥是一种特殊的线性能带简并态,普遍存在于各种二维光子晶体(名词解释:光子晶体)中。通过引入空间反演对称性破缺,光学狄拉克锥会发生退简并从而过渡至能谷态(图1(a)) ,这种光子晶体被称为能谷光子晶体。 能谷光子晶体的带隙中存在受能谷保护的边界态,目前已经在 SOI 光子晶体平板中得到了验证,实现了急弯波导、微腔激射等微纳光子集成器件。 图1:(a)二维系统中的狄拉克锥和能谷态的能带示意图; (b):三维系统中的节线环和能脊态的能带示意图。...

仿生复眼:“十”字型四孔径视场部分重叠仿生热成像

仿生复眼:“十”字型四孔径视场部分重叠仿生热成像

Original Light新媒体 中国光学 2022-05-29 19:30 Posted on 吉林 人眼双目立体视觉以及蜜蜂、蜻蜓等昆虫复眼具有小型化、多孔径、大视场和中心高分辨率(空间变分辨率)的特点,对运动目标具有高探测能力,对细节信息也有较强的分辨能力,是目标搜索与跟踪、精确探测与制导等应用领域重点研究的目标之一。 人工仿生复眼大致可分为多相机阵列的宏观型和微透镜棱镜阵列的紧凑型仿生复眼两大类。...

非线性荧光损耗机理及超分辨成像技术获进展

非线性荧光损耗机理及超分辨成像技术获进展

MEMS 2022-05-29 00:00 Posted on 上海 华南师范大学华南先进光电子研究院教授詹求强课题组在非线性荧光损耗机理及超分辨荧光显微成像领域取得重要进展。相关研究5月23日在线发表于《自然—通讯》(Nature Communications)。 该研究在荧光损耗物理机理上,提出了受激辐射诱导激发损耗新机理,“拔本塞源”式对敏化能级进行损耗,从源头阻断荧光的激发能量,新机理带来的“荧光损耗放大效应”大幅降低了超分辨所需要的激光光强,在低光强条件下实现了9种不同光谱探针的荧光损耗。...

南京大学等在量子拓扑光子学领域取得进展

南京大学等在量子拓扑光子学领域取得进展

MEMS 2022-05-29 00:00 Posted on 上海 南京大学夏可宇与陆延青教授团队与日本理化所Franco Nori教授、天津大学聂伟副教授合作在量子拓扑光子学领域取得新进展。相关成果以「Nonreciprocal Single-photon Band Structure」为题在物理学权威期刊Physical Review Letters发表。南京大学博士生唐江山为论文的第一作者,夏可宇教授为通讯作者,陆延青教授对该工作提供了指导性意见,天津大学理学院量子交叉研究中心聂伟副教授与日本理化学研究所Franco Nori教授对本工作做出了重要贡献,南京大学博士生唐磊、陈明远和苏欣为合作作者。...

二维铁电材料领域重要突破

二维铁电材料领域重要突破

上海挺住的 FUTURE远见 2022-05-28 17:01 Posted on 上海 FUTURE | 远见 闵青云 选编 近日,中国人民大学物理学系季威教授研究组与香港理工大学刘树平教授研究组及英国剑桥大学Manish Chhowalla教授等合作,在低维极化材料领域获重要突破,通过理论计算和实验测量,国际上首次在仅有6个原子层厚的非转角二维双层异质结中发现了面外压电及铁电效应。该成果深化了对二维材料新奇物性的认识并扩展了铁电材料的家族成员,展示了二维铁电材料在未来信息存储应用中的潜力。相关研究成果以「Ferroelectricity in Untwisted Heterobilayers of Transition Metal...

新型超分辨显微镜,可实现纳米级成像

新型超分辨显微镜,可实现纳米级成像

光电汇王越编译 光电汇OESHOW 2022-05-28 08:00 Posted on 上海 受激拉曼散射(SRS)显微镜是一种新兴技术,可为内源性生物分子提供高化学特异性,并且可以规避荧光显微镜的常见限制,包括探测小生物分子的能力有限和难以同时分辨多种颜色。然而,SRS显微镜的分辨率仍然受衍射极限的控制。 为了克服这个问题,卡内基梅隆大学和哥伦比亚大学的研究人员将SRS显微镜与扩展显微镜(E×M)相结合提出了一种称为分子锚定凝胶纳米级荧光成像和受激拉曼散射显微镜(MAGNIFIERS)的新技术。MAGNIFIERS提供了具有亚50...

亚200 fs, 344 MHz锁模掺铥光纤激光器

亚200 fs, 344 MHz锁模掺铥光纤激光器

Original 孙康泉 孙晶 光学前沿评论 2022-05-27 09:00 Posted on 黑龙江 专家视点   在2 µm处工作的超快光纤激光器是通过非线性频率转换访问中/远红外光谱区域的有效平台。该光谱区域具有许多气体分子的主要吸收带。因此,设想开发2 µm高重复率光纤激光器在频率计量和分子光谱应用中非常受欢迎。在此,Wei-Yu Lai和Hui Zhang等人实现了一种紧凑的、基于非线性偏振演化的自启动锁模掺铥光纤振荡器,其基本重复频率约为344 MHz,脉冲持续时间约为160 fs。产生的脉冲中心约为1975 nm,最大输出功率约为560 mW,对应的脉冲能量约为1.63 nJ。研究发现,在[5 kHz, 10 MHz]频率范围内积分的时间抖动和在[10 Hz, 10...

中红外光学频率梳的进展与应用

中红外光学频率梳的进展与应用

MEMS 2022-05-27 00:00 Posted on 上海 光学频率梳是一种宽谱的相干光源,由一系列等频率间隔的离散谱线组成,具有超高的时频精度。自诞生以来,光学频率梳为精密光谱学、光学测量、相干光通信、光时钟等多种应用的发展带来了革命性的变化。近年来,研究人员通过新型激光增益介质、非线性频率转换和微谐振腔等技术将频率梳扩展到中红外光谱区域(2~20μm),进一步扩大了光频梳的应用范围。...

我国科研团队在纳米尺度芯片上观测到显著拓扑彩虹效应

我国科研团队在纳米尺度芯片上观测到显著拓扑彩虹效应

光行天下 2022-05-27 00:00 Posted on 四川 近日,暨南大学光子技术研究院丁伟研究员团队和北京理工大学路翠翠教授团队、北京大学胡小永教授团队合作在片上拓扑彩虹器件研究中取得重要进展,首次在纳米尺度的芯片上观测到显著的拓扑彩虹效应。相关成果以“On-chip nanophotonic topological rainbow”为题发表在国际学术期刊《Nature Communications》。...

非线性光子芯片:太赫兹波局域的拓扑调控

非线性光子芯片:太赫兹波局域的拓扑调控

光行天下 2022-05-27 00:00 Posted on 四川 近日,南开大学许京军教授、陈志刚教授、张心正教授领导的课题组与加拿大国家科学研究院Roberto Morandotti教授的课题组合作研究,在太赫兹拓扑光子学领域取得了重要进展:他们基于SSH模型,首次实验演示了在楔形铌酸锂光子芯片上对基于非线性产生的太赫兹波的拓扑调控,实现了太赫兹拓扑局域态在动量空间的直观观测。并分析对比了手性扰动对拓扑局域态和平庸局域态的影响,进一步证实了手性扰动下太赫兹拓扑态的鲁棒特性。 该研究成果以“Topologically tuned terahertz confinement in a nonlinear photonic...

指尖大小的激光雷达芯片

指尖大小的激光雷达芯片

Original Light新媒体 中国光学 2022-05-25 20:40 Posted on 吉林 撰稿 | 张晓声(加州大学伯克利分校,博士) 注:本文由论文作者投稿 智能化和自动化是未来机器发展的一大趋势。机器要自主感知周边环境并与之交互,离不开各种三维传感器。 激光雷达利用光波进行三维测量,可以实现较高的分辨率,相比其它三维传感器具有独特的优势,因此也在无人驾驶汽车、机器人、无人机、消费电子产品等领域得到了广泛的应用。 激光雷达的技术方案多种多样,但目前中长距离的激光雷达大部分使用扫描光束的方案,即发出一束或几束准直激光,每次测量到物体上一个或几个点的距离,再依次改变发出光的方向扫描整个视场。...